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半導體用高精度冷水機

DHTChiller-SE50 半導體用高精度冷水機

最低工作溫度
最高工作溫度
溫度穩定性
長期無故障運行是DHT?.Chiller具有的得天獨厚的優勢。依托DHT?(多禾 )常年應對各種復雜環境下的系統控制技術的挑戰和迭代,通過實時監測與精準調控制冷壓縮機的工作狀態,確保所有組件處于最佳運行狀態,進而實現了整體設備的長期穩定無故障運行,為您提供持續穩定可靠的冷熱源,尤其適合于對冷熱源穩定性具有嚴苛要求以及追求免維護的使用場景。
  • 產品優勢
  • 產品參數
  • 行業應用
  • 1.來自歐洲的設計

    2.低故障率 長壽命 低噪音

    3.可選支持超過100步的溫度循環控制

    4.可選支持溫度斜率控制要求

    5.可選滿足IP防護54要求

    6.可選風冷或者水冷冷卻方式

    7.可選寬范圍的運行環境要求

    8.符合歐洲標準的能耗以及環保要求

    9.可選前瞻的工業4.0互聯功能,標配Rs232,網口,支持Modbus RTU 和Modbus TCP通訊協議,支持USB輸出導出導入

    10.無觸屏運行

    11.可選多級用戶管理

    12.可選動態控溫控流量任務

    13.多種接口配套方案可選

    14. 高投入與多工序管理:半導體行業投入巨大,制造工序繁多。DHTChiller-SE 幫助客戶在每個環節進行嚴格的質量把控,提高產品良品率,確保收益。
    15. 溫度穩定性與精準度:溫度是影響半導體產品質量的關鍵因素。DHTChiller-SE 提供高穩定性和高精準度的溫度控制,保障產品的穩定性和可靠性。
    16. 全流程支持:DHTChiller-SE 循環冷卻器和水-水熱交換器支持半導體工藝的前端到后端整體流程,滿足不同環節的溫度需求。
    17. 豐富的經驗與專業知識:擁有超過16年的溫度控制經驗和與知名主設備機臺直接配套的經驗,DHTChiller-SE 為客戶提供標準化和定制化的溫度控制產品,結合專業技術知識,確保滿足半導體工藝中的苛刻溫度要求。
    18 全球化服務:DHTChiller-SE 提供全球化服務,確保在全球范圍內的半導體客戶都能獲得及時的技術支持和服務。


    型號SE8SE14SE24SE50SE65
    SE8WSE14WSE24WSE50WSE65W
    溫度范圍                                          -45°C-40°C


    1. 硅片制造:提供穩定冷卻,確保化學機械拋光(CMP)效果均勻,提高硅片質量。
    2. 沉積:控制薄膜沉積過程中的溫度,避免質量不均。
    3. 光刻:調節曝光過程中的溫度,防止光刻膠流動,提高光刻精度。
    4. 刻蝕:穩定刻蝕環境,防止過熱導致的刻蝕不均。
    5. 離子注入:冷卻離子注入過程中的熱量,確保離子分布均勻。
    6. 清洗:控制清洗液溫度,提高清洗效果。
    7. 電鍍:保持電鍍液溫度,確保鍍層均勻和結合力強。
    8. 測試:提供恒定測試環境,確保測試數據準確。

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